Fotolitoqrafiya həndəsi naxışları plyonka və ya substrata köçürmək üçün mikrofabrikasiyada istifadə edilən prosesdir. Yarımkeçirici üzərində həndəsi formalar və naxışlar əlavə maddələrin, elektrik xassələrinin və naqillərin dövrəni tamamlamasına və texnoloji məqsədi yerinə yetirməsinə imkan verən mürəkkəb strukturları təşkil edir.
Fotolitoqrafiya prosesi nədir?
Fotolitoqrafiya, həmçinin optik litoqrafiya və ya UV litoqrafiya adlanır, nazik bir film və ya substratın böyük hissəsi (həmçinin vafli adlanır) üzərində naxış yaratmaq üçün mikrofabrikasiyada istifadə edilən prosesdir. … Mürəkkəb inteqral sxemlərdə CMOS vafli fotolitoqrafiya dövründən 50 dəfə keçə bilər.
Mikrofabrikasiya prosesi hansılardır?
Mikrofabrikasiya mikrometr ölçülü və daha kiçik miniatür strukturların hazırlanması prosesidir. … Mikrofabrikasın əsas anlayışları və prinsipləri mikrolitoqrafiya, dopinq, nazik təbəqələr, aşındırma, yapışdırma və cilalamadır.
Yarımkeçiricilərdə litoqrafiya prosesi nədir?
Yarımkeçirici litoqrafiya sistemi prosesi həyata keçirir, burada böyük şüşə boşqabdan hazırlanmış fotomaska üzərində çəkilmiş olduqca mürəkkəb dövrə nümunələri ultra yüksək performanslı linzalar vasitəsilə azaldılır vəkimi tanınan silikon substrata məruz qalır.vafli. …
İstehsal prosesində litoqrafiya nədir?
Litoqrafiyadıryarımkeçirici vaflinin səthini örtən radiasiyaya həssas materialın nazik təbəqəsinəmaskada həndəsi formaların naxışlarının ötürülməsi prosesi. Şəkil 5.1 IC istehsalında istifadə olunan litoqrafiya prosesini sxematik şəkildə təsvir edir.
