Yarımkeçirici litoqrafiya (həmçinin fotolitoqrafiya adlanır) vəziyyətində daşlarımız silikon vaflidən ibarətdir və naxışlarımız fotorezist adlanan işığa həssas polimerlə yazılmışdır.
Fotolitoqrafiya dedikdə nəyi nəzərdə tutursunuz?
Fotolitoqrafiya, həmçinin optik litoqrafiya və ya UV litoqrafiya adlanır, nazik təbəqədə və ya substratın böyük hissəsinin (həmçinin vafli adlanır) naxışları üçün mikrofabrikasiyada istifadə edilən prosesdir.. … Bu üsul bir neçə onlarla nanometrə qədər çox kiçik naxışlar yarada bilər.
Niyə litoqrafiya yarımkeçirici istehsalında istifadə olunur?
Fotolitoqrafiya mikrofabrikada həndəsi naxışları plyonkaya və ya substrata köçürmək üçün istifadə edilən prosesdir. Yarımkeçirici üzərində həndəsi formalar və naxışlar əlavə maddələrin, elektrik xassələrinin və naqillərin dövrəni tamamlamasına və texnoloji məqsədi yerinə yetirməsinə imkan verən mürəkkəb strukturları təşkil edir.
Fotolitoqrafiyanın məqsədi nədir?
Fotolitoqrafiya mikrofabrikasiyanın ən vacib və asan üsullarından biridir və materialda təfərrüatlı naxışlar yaratmaq üçün istifadə olunur. Bu üsulda işığa həssas polimerin ultrabənövşəyi işığa selektiv məruz qalması vasitəsilə forma və ya naxış həkk oluna bilər.
Yarımkeçirici litoqrafiya avadanlığı nədir?
Yarımkeçirici litoqrafiya avadanlığı yarımkeçirici çipin ekspozisiya mərhələsində istifadə olunuristehsal prosesi. … Yarımkeçirici litoqrafiya avadanlığı retikul adlanan orijinal lövhədə yazılmış dövrə nümunəsini az altmaq və naxışı vafli üzərində ifşa etmək üçün proyeksiya linzasından istifadə edir.